Ústecké materiálové centrum

Laboratoř analýzy povrchů - SIMS

 

SIMS Atomika 3000

Systém SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) umožňuje analýzu chemického složení studovaných vzorků materiálů pro koncentrace jednotlivých komponent pod ppm. Umožňuje 2D a 3D analýzu vzorků, měření hloubkových profilů a lineárních scanů.

 sims.jpg

Systém SIMS Atomika ADIDA 3000 je vybaven zdrojem Cs+ cesiových iontů Cs431, kyslíkových a argonových iontů.

Druhý vkládací systém pro vkládání velkých vzorků umožňuje analýzy vzorků  až do velikosti 100 mm v průměru.

 

Základní technické údaje o systému:

 

Zdroj argonových a kyslíkových iontů:

 

Energie iontů svazku: 3 - 15 keV pro kyslíkové a argonové ionty

Maximální proud iontů: 2 x 10-6 A

Proud iontů kyslíku nebo argonu ~ 1 µA

 

Min. průměr svazku: ~ 15 µm

 

Cesiový zdroj iontů - Cs 431:

 

Energie iontů svazku: 3 keV - 15 keV

Maximální proud iontů: 400 nA pro 15 keV, 20 nA pro 3 keV

Max. proudová hustota: 30 mA/cm2 pro 15 keV

Min. průměr svazku: 30 µm pro 15 keV (při cloně 300 µm)

 

Vakuový systém:

Pracovní tlak ve vakuové komoře analyzátoru: 1 x 10-9 Torr

Pracovní tlak ve vakuové komoře pro vkládání vzorků: 1 x 10-7 Torr

Pracovní tlak během měření:

~ 5 x 10-9 Torr pro kyslík a argon

~ 1x 10-9 Torr pro cesium

Kvadrupólový hmotnostní spektrometr:

Max. analyzovaná hmotnost: > 350 v pozitivním i negativním spektru